透射電鏡液體電化學原位系統(tǒng)是一種集成了透射電鏡(TEM)技術與液體電化學測試環(huán)境的設備。
本公司提供的透射電鏡液體電化學原位系統(tǒng)的技術有:
1、采用納流控技術,通過壓電微控系統(tǒng)進行流體微分控制,實現(xiàn)納升級微量流體輸送,原位納流控系統(tǒng)及樣品桿中冗余的液體量僅有微升級別,有效保證電鏡安全。
2、采用高分子膜面接觸密封技術,相比于o圈密封,增大了密封接觸面積,有效減小滲漏風險。
3、采用超高溫鍍膜技術,芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜具有耐高溫低應力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點。
4、多場耦合技術,可在液相環(huán)境中實現(xiàn)光、電、熱、流體多場耦合。
該系統(tǒng)的芯片封裝采用鍵合內封以及環(huán)氧樹脂外封雙保險方式,使芯片間的夾層最薄僅約100~200nm,超薄夾層大幅減少對電子束的干擾,可清晰觀察樣品的原子排列情況,液相環(huán)境可實現(xiàn)原子級分辨。
